隨著真空應(yīng)用技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來越寬鼠渺，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求遵岩，因此選用不同類型真空泵組成的真空抽氣機(jī)組進(jìn)行抽氣的情況較多你辣。為了方便用戶，將這些真空泵按其工作原理或其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分為兩種類型尘执，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵∩岷澹現(xiàn)對這兩種類型泵進(jìn)行詳細(xì)介紹：
    一、氣體傳輸泵
    氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出誊锭，借以達(dá)到抽氣目的的真空泵表悬，這種泵基本上有兩種類型：
    1、變?nèi)菡婵毡?nbsp;   變?nèi)菡婵毡檬抢�用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵市砍。氣體在排出前被壓縮俏川。這種泵分為往復(fù)式及旋轉(zhuǎn)式兩種：
   （1）往復(fù)真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做往復(fù)運(yùn)動，將氣體吸入射疤、壓縮并排出符殊。因此，又稱為活塞式真空泵倾桩。
   （2）旋轉(zhuǎn)真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動倘秸，將氣體吸入，壓縮并排出符晃。旋轉(zhuǎn)真空泵又有如下幾種型式：
     ①油封式真空泵：它是利用油類密封各運(yùn)動部件之間的間隙叔抡，減少有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩＿@種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置绒双，故又稱氣鎮(zhèn)式真空泵躬源。按其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分為如下五種型式。
    a)旋片式真空泵：轉(zhuǎn)子以一定的偏心距裝在泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)表面的固定面靠近还织，在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個（或兩個以上）旋片拆座，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時旋片能沿其徑向槽往復(fù)滑動且與泵殼內(nèi)壁始終接觸，此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn)冠息，可將泵腔分成幾個可變?nèi)莘e挪凑。
    b）滑閥式真空泵：在偏心轉(zhuǎn)子外部裝有一個滑閥，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動和滾動逛艰，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導(dǎo)軌中滑動躏碳，而把泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。
    c）定片式真空泵：在泵殼內(nèi)裝有一個與泵內(nèi)表面靠近的偏心轉(zhuǎn)子散怖，泵殼上裝有一個始終與轉(zhuǎn)子表面接觸的徑向滑片菇绵，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，滑片能上镇眷、下滑動將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e咬最。
    d）余擺線式真空泵：在泵腔內(nèi)偏心裝有一個型線為余擺線的轉(zhuǎn)子翎嫡，它沿泵腔內(nèi)壁轉(zhuǎn)動并將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。
    e）多室旋片式真空泵：在一個泵殼內(nèi)并聯(lián)裝有由同一個電動機(jī)驅(qū)動的多個獨(dú)立工作室的旋片真空泵永乌。
    ②干式真空泵：它是一種不用油類（或液體）密封的變?nèi)菡婵毡谩?br />     ③液環(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)惑申，當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時，把液體（通常為水或油）拋向泵殼形成泵殼同心的液環(huán)翅雏，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個小容積镇纳，故亦稱旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩?br />     ④羅茨真空泵：泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間哮霹、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙宰孙。它屬于旋轉(zhuǎn)變真空泵。機(jī)械增壓泵即為這種型式的真空泵墅轩。
    2坚哲、動量傳輸泵
    這種泵是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子付昧，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹谟�欢。具體可分為下述幾種類型。
   （1）分子真空泵：它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子严齿，使之壓縮升碱、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式：
    ①牽引分子泵：氣體分子與高速運(yùn)動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量骄闺，被送到出口是酣，因此，是一種動量傳輸泵剃袍。
    ②渦輪分子泵：泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉(zhuǎn)子黄刚，它在定子圓盤（或定片）間旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子圓周的線速度很高民效。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作憔维。
    ③復(fù)合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合式分子真空泵。
   （2）噴射真空泵：它是利用文丘里（Venturi）效應(yīng)的壓力降產(chǎn)生的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵畏邢，適于在粘滯流和過渡流狀態(tài)下工作业扒。這種泵又可詳細(xì)地分成以下幾種：
    ①液體噴射真空泵：以液體（通常為水）為工作介質(zhì)的噴射真空泵。
    ②氣體噴射真空泵：以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵舒萎。
    ③蒸氣噴射真空泵：以蒸氣（水程储、油或汞等蒸氣）作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。       （3）擴(kuò)散泵：以低壓高速蒸氣流（油或汞等蒸氣）作為工作介質(zhì)的噴射真空泵臂寝。氣體分子擴(kuò)散到蒸氣射流中虱肄，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的交煞，這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作咏窿。可分為：
    ①自凈化擴(kuò)散泵：泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專門的機(jī)械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴(kuò)散泵熬鸟。
    ②分餾式擴(kuò)散泵：這種泵具有分餾裝置虫喝，使蒸氣壓強(qiáng)較低的工作液蒸氣進(jìn)入高真空工作的噴嘴，而蒸氣壓強(qiáng)較高的工作液蒸氣進(jìn)入低真空工作的噴嘴秸铣，它是一種多級油擴(kuò)散泵俊揣。
   （4）擴(kuò)散噴射泵：它是一種有擴(kuò)散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯(lián)組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種型式朱泞。
   （5）離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下乐太，輸送到出口的一種動量傳輸泵。
    二膀琐、氣體捕集泵
    這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上莉孽，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式苦旋。
    1火晕、吸附泵
    它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質(zhì)）的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。
    2偏秦、吸氣劑泵
    它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵液珠。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式辅甥。
    3酝润、吸氣劑離子泵
    它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達(dá)到抽氣的目的璃弄。它有如下幾種型式要销。    ⑴蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵谢揪。    ⑵濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上蕉陋，以實(shí)現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。
    4拨扶、低溫泵
    利用低溫表面捕集氣體的真空泵
    真空泵的性能參數(shù)及使用范圍
    真空泵的性能參數(shù)
   （1）真空泵的極限壓強(qiáng)
    泵的極限壓強(qiáng)單位是Pa凳鬓，是指泵在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下患民，趨向穩(wěn)定的低壓強(qiáng)缩举。
   （2）真空泵的抽氣速率
    泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩匹颤，并按規(guī)定條件工作時仅孩，從試驗(yàn)罩流過的氣體流量與在試驗(yàn)罩指定位置測得的平衡壓強(qiáng)之比。簡稱泵的抽速卡催。
   （3）真空泵的抽氣量
    真空泵的抽氣量單位是Pa m3/s或Pa l/s责名。是指泵入口的氣體流量溶迹。
   （4）真空泵的起動壓強(qiáng)
    真空泵的起動壓強(qiáng)單位為Pa，它是指泵無損壞起動并有抽氣作用時的壓強(qiáng)液炼。
   （5）泵的前級壓強(qiáng)
    真空泵的前級壓強(qiáng)單位是Pa剩织，它是指排氣壓強(qiáng)低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強(qiáng)。
   （6）真空泵的大前級壓強(qiáng)
    真空泵口大前級壓強(qiáng)單位是Pa枕络，它是指超過了能使泵損壞的前級壓強(qiáng)硬拴。
   （7）真空泵的大工作壓強(qiáng)
    真空泵的大工作壓強(qiáng)單位是Pa，它是指對應(yīng)大抽氣量的入口壓強(qiáng)搜澈。在此壓強(qiáng)下魁济，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
   （8）壓縮比
    壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強(qiáng)與入口壓強(qiáng)之比乏傀。
   （9）何氏系數(shù)
    泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽速與該處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比孙已。
   （10）抽速系數(shù)
    泵的實(shí)際抽速與泵入口處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。
   （11）返流率
    泵的返流率單位是g/cm2.s四爹。它是指泵按規(guī)定條件工作時顾翼，通過泵入口單位面積的泵流質(zhì)量流率。
   （12）水蒸氣允許量
    水蒸氣的允許量單位是kg/h奈泪，它是指泵在正常環(huán)境條件下适贸，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。
   （13）大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)
    大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)單位是Pa 涝桅。它是指在正常環(huán)境條件下拜姿，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時所能抽除的水蒸氣的高入口壓強(qiáng)。